采用激光傳感器，精度高。有單測(cè)頭和雙測(cè)頭，并可選配實(shí)現(xiàn)自動(dòng)上下料。
倒置式顯微掃描，結(jié)構(gòu)緊湊，體積小巧
可實(shí)現(xiàn)一鍵式操作，自動(dòng)對(duì)焦、自動(dòng)掃描，提升圖像質(zhì)量
配合激光器工作，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制，提升焊接精度
針對(duì)用戶(hù)的電機(jī)，設(shè)計(jì)各種適用工裝；產(chǎn)品所需的性能參數(shù)，系統(tǒng)具有自動(dòng)采集，分析結(jié)果，歷史數(shù)據(jù)存儲(chǔ)等功能
涂膠顯影設(shè)備主要應(yīng)用在晶圓生產(chǎn)中的前道EUV光刻中，以及后道的封測(cè)和LED制造中，在晶圓生產(chǎn)中起到重要作用。
